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HORIBA コンパクトプロセスモニタ 2~100AMU φ34CF取り合い 1個 MICROPLE System-100-C

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管理番号 新品 :700048271
中古 :700048271-1
メーカー HORIBA 発売日 2025/02/04 09:59 定価 873043.92円
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HORIBA コンパクトプロセスモニタ 2~100AMU φ34CF取り合い 1個 MICROPLE System-100-C

HORIBA コンパクトプロセスモニタ 2~100AMU φ34CF取り合い 1個四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。低真空(高圧)域0.5Pa(3.8mtorr)での操作可能コンパクトユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に出来ます測定範囲:2~100AMU最大使用圧力(N2):0.9Pa最小検知分圧(N2):5×10-6Pa(70eV)プラズマガード付きセンサー:φ34CF取り合いセット製品詳細:スペクトラムジェネレーター/センサー/電源ユニット/SG-電源間ケーブル3m/SG-PC間ケーブル3m/専用クランプ/ソフトウェア/USB-シリアル変換機/変換アダプタ※単体購入は別途お打合せ※オプションで差動排気システムもございます

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